Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda hattoki-trillion darajadagi metall ifloslanishning-bo'laklari ham qurilma unumdorligini buzishi mumkin. Issiq deionizatsiyalangan suv yuvish vositalari keng qo'llaniladi va bu suv bilan aloqa qiladigan har qanday isitgichda eriydigan metallar bo'lmasligi kerak. PTFE isitgichlari ushbu qattiq talabga javob beradi.
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda issiq DI suv
Issiq deionizatsiyalangan (DI) suv yarimo'tkazgichli fabrikalarda turli xil muhim tozalash jarayonlari uchun ishlatiladi, masalan, gofretni tozalash, tozalashga qarshi turish va umumiy chayish. Suv doimiy ravishda tizim orqali aylanib turadi va 25 daraja haroratda 18 megaohm{2}}santimetr (MŌ·sm) yuqori qarshilikda saqlanadi. Bu suvning o'ta toza bo'lishini ta'minlaydi, bu yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida ifloslanishning oldini olish uchun zarurdir.
DI suvining harorati ifloslantiruvchi moddalarni samarali olib tashlash va tozalash jarayonining samaradorligini oshirish uchun odatda 70-90 daraja oralig'ida saqlanadi. Ushbu harorat oralig'i gofretni optimal qayta ishlash uchun zarur va maxsus isitgichlar yordamida erishiladi.
Metall{0}}qoplangan isitgichlarning ifloslanish xavfi
Zanglamaydigan po'lat yoki Incoloy kabi metall{0}}qoplangan isitgichlar ko'plab sanoat isitish ilovalarida qo'llanilsa-da, ular yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish kabi yuqori-tozalikdagi ilovalarda katta xavf tug'diradi. Vaqt o'tishi bilan metall isitgichlar temir, nikel va xrom kabi iz ionlarini DI suviga singdiradi. Ushbu metall ionlari suvning tozaligini buzishi mumkin, bu hatto eng kichik konsentratsiyalarda ham ifloslanishga olib keladi. Ushbu ifloslanish gofret sifatiga jiddiy ta'sir ko'rsatishi mumkin, bu qurilma hosildorligini pasaytiradi va suvning tozaligini tiklash uchun tez-tez qatron to'shagini almashtirishni talab qiladi.
Ushbu muammolarni oldini olish uchun ultra toza DI suv bilan aloqa qiladigan isitgichlar suvga hech qanday aralashmalar kiritmaydigan materiallardan qurilishi kerak.
Nima uchun PTFE isitgichlari ko'rsatilgan
PTFE (politetrafloroetilen) isitgichlar kimyoviy chidamliligi va inertligi tufayli yarimo'tkazgichli fabrikalarda issiq DI suvli yuvish uchun mo'ljallangan. PTFE tarkibida metallar mavjud emas, ya'ni u hech qanday metall ionlarini suvga singdirmaydi, shuning uchun suv o'ta toza bo'lib qoladi. Bu yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan yuqori suv qarshiligini saqlab qolish uchun juda muhimdir.
PTFE isitgichlar 70-90 daraja ish harorati oralig'iga bardosh bera oladi, bu ularni ushbu dastur uchun juda mos keladi. Ba'zi hollarda PTFE o'rniga PFA (perfluoroalkoksi) yanada yuqori tozalik yoki haroratga chidamlilik talab qilinganda qo'llaniladi, chunki PFA materialning yaxlitligini buzmasdan yuqori haroratlarga bardosh bera oladi.
PTFE ni DI suvli chayqash idishlarida ishlatishning asosiy afzalligi uning uzoq muddatli barqarorligi-dir. Metall isitgichlardan farqli o'laroq, PTFE ifloslanish muammolari tufayli tez-tez texnik xizmat ko'rsatish yoki almashtirishni talab qilmaydi. Bu yuqori-toza muhitlarda yanada barqaror va ishonchli ishlashga olib keladi va vaqt o'tishi bilan operatsion xarajatlarni kamaytiradi.
PTFE isitgichlar uchun texnik mulohazalar
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda DI suvining qarshiligi haqiqatan ham o'ta toza bo'lishini ta'minlash uchun 25 darajada 18 MŌ·sm da saqlanishi kerak. PTFE isitgichlari bu muhim ilovalarda ultra toza suv bilan bevosita aloqa qilish uchun qabul qilingan yagona isitgich qoplamasi materiallaridir. Har qanday mahalliy qaynash yoki zarracha hosil bo'lishining oldini olish uchun isitgichning vatt zichligi konservativ bo'lishi kerak. Bu suv tizimiga kiruvchi ifloslanish yoki jismoniy shikastlanishga olib keladigan issiq nuqtalarning oldini olishga yordam beradi.
Soflik spetsifikatsiyasi: Metall ifloslanish chegaralari
Yuqori-tozalikdagi yarimo‘tkazgichli ilovalarda metallning ifloslanish chegaralari juda past. Misol uchun, ifloslanish darajasi DI suvidagi temir, nikel yoki boshqa metall ionlarining 1 ppb (milliardga qism) ostida qolishi kerak. Metall bo'lmagan{4}}tarkibiga ega bo'lgan PTFE isitgichlari ushbu qat'iy tozalik talablariga javob berish uchun idealdir.
Xulosa
PTFE isitgichlari yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda o'ta toza suv sifatini saqlab qolish uchun zarur bo'lib, tozalash jarayonida hech qanday metall ionlari suvga kirmasligini ta'minlaydi. Yarimoʻtkazgich fablari kabi yuqori-tozalikdagi ilovalar uchun materiallarni tanlash ifloslanishni aniq nazorat qilish zarurati bilan bogʻliq. PTFE isitgichlari ushbu qat'iy talablarni qondirish uchun maxsus ishlab chiqilgan bo'lib, DI suvini suv sifati yoki qurilma unumdorligini buzmasdan isitish uchun ishonchli yechimni ta'minlaydi.
