RCA toza-standart gofretni tozalash tartibi-zarrachalar va metall aralashmalarni olib tashlash uchun yuqori haroratlarda SC1 va SC2 eritmalaridan foydalanadi. Ushbu vannaning haroratini boshqaradigan issiqlik almashtirgichlar nol qo'shimcha metall ifloslanishiga hissa qo'shishi kerak yoki butun tozalash bosqichi buziladi.
RCA toza jarayoni
TheRCA tozaYarimo'tkazgichli gofret tayyorlashning muhim bosqichi bo'lgan jarayon ikkita tozalash eritmasidan foydalanadi:SC1(ammiak gidroksidi, vodorod periks va suv) vaSC2(xlorid kislotasi, vodorod periks va suv). Ikkala yechim ham ishlaydi70-80 darajava ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlashda alohida rol o'ynaydi:
SC1 yechimi: Asosan organik ifloslantiruvchi moddalarni va zarrachalarni olib tashlash uchun ishlatiladigan SC1 oksidlovchi eritma sifatida ishlaydi. Yuqori{2}}haroratli muhit samarali tozalashni, gofret yuzasiga yopishib qolishi mumkin bo'lgan organik qoldiqlarni va zarralarni parchalashni ta'minlaydi.
SC2 yechimi: Bu eritma gofret yuzasidan metall ionlarini olib tashlash uchun ishlatiladi. Xlorid kislotasi va vodorod periksning kombinatsiyasi gofretdan metall ifloslantiruvchi moddalarni eritish va olib tashlash uchun zarur kimyoviy reaktivlikni ta'minlaydi, keyingi ishlov berish uchun toza sirtni ta'minlaydi.
SC1 va SC2 yechimlari ham yuqorikorroziyvaoksidlovchi, haroratni ushlab turish uchun ishlatiladigan issiqlik almashtirgichlardan ifloslanishning oldini olishda bunday muhitlarga bardosh bera oladigan mustahkam tizimlarni talab qiladi.
RCA tozalashda PTFE issiqlik almashinuvchilarining roli
YuqorikorroziySC1 va SC2 yechimlarining tabiati ushbu ilovadagi issiqlik almashtirgichlardan qurilishni talab qiladifloropolimerlar, kabiPTFEyokiPFA, bu mukammal kimyoviy qarshilikni ta'minlaydi. Ushbu almashtirgichlar eritmalarning haroratini tartibga solishga xizmat qiladi, ular kerakli ish diapazonida qolishini ta'minlaydi, shu bilan birga tozalash jarayonining yaxlitligini himoya qiladi.
Tashqi aylanma halqalar: PTFE yoki PFA issiqlik almashinuvchilari tizimga kerak bo'lganda SC1 va SC2 eritmalarini isituvchi yoki sovutadigan tashqi aylanma halqalarning bir qismi sifatida birlashtirilgan. Ushbu yopiq pastadir yondashuvi isitish/sovutish jarayonida metall ionlarini kiritmasdan eritma haroratining barqarorligini ta'minlaydi.
Inert xususiyatlar: PTFE va PFA issiqlik almashinuvchilari to'liq inertdir, ya'ni ular eritma ichiga ionlarni chiqarmaydi, hattotrillionga--qismyarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish muhitini aniqlash chegaralari. Bu gofretni tozalash jarayonining yaxlitligini ta'minlash uchun juda muhim, bu erda metall ifloslanishi qurilmaning hosildorligini sezilarli darajada yo'qotishiga olib kelishi mumkin.
Inilg'or yarimo'tkazgich fabrikalari, bu erda ifloslanish byudjetlari o'lchanadikvadrat santimetrga atomlar, ehtiyojion-bepulissiqlik uzatish yechimlari muhim ahamiyatga ega. Faqatfloropolimer almashinuvchilariRCA tozalash jarayoni gofret yuzasiga qo'shimcha ifloslantiruvchi moddalar kiritmasdan amalga oshirilishini ta'minlaydigan ushbu qattiq talablarga javob berishi mumkin.
Material darajasi
Faqat yarimo'tkazgichli ilovalar uchunyuqori-tozalik darajasidagi PTFEyokiPFAissiqlik almashtirgichlarni qurishda foydalanish kerak. Ushbu materiallar eng qat'iy standartlarga javob beradikimyoviy qarshilikvapoklik, tozalash vannalariga hech qanday zarralar yoki ionlar chiqarilmasligini ta'minlash. -Yarimo'tkazgich- bo'lmagan ftorpolimerlar tozalash jarayoniga salbiy ta'sir ko'rsatishi mumkin bo'lgan aralashmalar yoki ifloslantiruvchi moddalarni o'z ichiga olishi mumkin.
Xulosa
PTFE/PFA issiqlik almashinuvchilarida ajralmas rol o‘ynaydiRCA tozajarayon, SC1 va SC2 eritmalarining metall ifloslanishini kiritmasdan ishonchli harorat nazoratini ta'minlash. Gofret yuzasining tozaligini ta'minlash orqali ushbu almashtirgichlar to'g'ridan-to'g'ri qurilmaning yuqori mahsuldorligiga va ishlab chiqarish natijalarining yaxshilanishiga hissa qo'shadi. Yarimo'tkazgich sanoati ilg'or texnologiyalarga bo'lgan talabni oshirishda davom etmoqdaeng yuqori-tozalikdagi materiallarishlab chiqarishning har bir bosqichida, shu jumladan gofretni tozalash muvaffaqiyat uchun asosiy talab bo'lib qolmoqda.
