Optik bog'lash yoki yarimo'tkazgichli gofretni qayta ishlash uchun isitish plitasi nafaqat "tekis" bo'lishi kerak, balki bir necha mikrometrlar ichida tekis bo'lishi kerak. Buning uchun spetsifikatsiya tili Total Indicated Runout bo'lib, uni chizmada to'g'ri olish butun ishlab chiqarish jarayonini belgilaydi. Noto'g'ri belgilangan tekislik notekis aloqaga, mahalliy issiq joylarga va rad etilgan qismlarga olib kelishi mumkin. Yaxshi belgilangan TIR-issiqlik plitasining butun ish yuzasi bo'ylab bir xil issiqlik o'tkazuvchanligini ta'minlaydi{4}}aniq ilovalarda kelishib bo'lmaydigan{5}}talab.
Isitish plitasida umumiy ko'rsatilgan yugurish (TIR) nima?
Jami ko'rsatilgan yugurish - bu qism belgilangan maydon bo'ylab aylantirilganda yoki skanerlanganda terish ko'rsatkichi bilan o'lchanadigan sirt balandligidagi maksimal o'zgarish. Yassi isitish plitasi uchun TIR asosan tekislik va parallellik o'lchovidir. Ko'rsatkich mos yozuvlar nuqtasida nolga tenglashtiriladi, so'ngra plastinkaning ishchi yuzi bo'ylab harakatlanadi. Har qanday og'ish-cho'qqi yoki vodiy- qayd etiladi. Belgilangan o'lchov oralig'ida eng yuqori va eng past ko'rsatkichlar orasidagi farq TIR qiymatidir.
300 mm diametrli plastinkada TIR < 0,025 mm (25 mikrometr) spetsifikatsiyasi sirtdagi hech qanday nuqta mos yozuvlar tekisligidan ± 0,0125 mm dan ortiq chetga chiqmasligini anglatadi. Ultra aniq ilovalar uchun TIR 0,010 mm yoki hatto 0,005 mm gacha talab qilinishi mumkin. Kerakli TIR odatda ishlov beriladigan qismning qalinligi bardoshliligiga yoki laminatlash yoki yopishtirish jarayoni uchun zarur bo'lgan bo'shliqni boshqarishga asoslanadi. Yupqaroq, sezgir qismlar (masalan, yarimo'tkazgichli gofretlar, optik shisha) qattiqroq TIRni talab qiladi.
Nima uchun qattiq TIRga erishish plitalarni isitish uchun qiyin
Isitish plitasi oddiy metall plita emas. U o'rnatilgan isitish elementlarini o'z ichiga oladi (-yivlarga quyiladi yoki qisiladi) yoki kartrijli isitgichlar uchun burg'ulanadi. U termojuft quduqlari, o'rnatish teshiklari va sovutish kanallariga ega bo'lishi mumkin. Ishlab chiqarish jarayoni-ishlov berish, payvandlash, issiqlik bilan ishlov berish-ichki stresslarni keltirib chiqaradi. Ushbu kuchlanishlar plastinka ish haroratiga qizdirilganda chiqariladi va burilishni keltirib chiqaradi. Xona haroratida mukammal tekis o'lchangan plastinka 150 gradusda 0,1 mm yoki undan ko'proq egilishi mumkin.
Amalda,tekislik isitish plitasining -haroratga bog'liq xususiyatidir. Shuning uchun faqat TIRni ko'rsatishning o'zi etarli emas. O'lchov o'tkaziladigan harorat ham ko'rsatilishi kerak. Nozik isitish plitasi atrof-muhit haroratida (ish haroratida ma'lum, qabul qilinadigan siljish bilan) o'lchangan yoki ideal holda, mo'ljallangan ish haroratida o'lchangan TIR bilan belgilanishi kerak.
Aniq TIRga erishish uchun jarayon bosqichlari
0,025 mm dan past bo'lgan TIR spetsifikatsiyasiga erishish ishlab chiqarish operatsiyalarining diqqat bilan rejalashtirilgan ketma-ketligini talab qiladi.
1. Stress-Bo‘sh material
Boshlang'ich material-odatda alyuminiy qotishmasi (masalan, 6061-T6 yoki 7075) yoki po'lat (masalan, yumshoq po'lat yoki zanglamaydigan)-har qanday nozik ishlov berishdan oldin stressdan xalos bo'lishi kerak-. Qabul qilingan novda yoki plastinkalar-ko'pincha prokat yoki ekstruziya natijasida qoldiq stresslarni o'z ichiga oladi. Termal stressni engillashtiruvchi cho'milish (masalan, alyuminiy uchun 340 daraja haroratda 2-4 soat yoki po'lat uchun 600 daraja), so'ngra sekin sovutish bu stresslarni chiqaradi. Ushbu bosqichsiz, keyingi ishlov berish kuchlanish maydonini muvozanatdan chiqaradi va isitish moslamasi quvvatlanganda plastinka burishadi.
2. Qo'pol ishlov berish va isitgichni joylashtirish
Plastinka aniq oʻlchamlarga yaqin-qoʻpol ishlov berilgan. Isitish elementlari o'rnatiladi (masalan, isitgichlarda quyma{4}} uchun qum qolipiga quyiladi yoki ishlov berilgan oluklarga bosiladi). Ushbu qadam isitgich qobig'i va plastinka materiali o'rtasidagi termal kengayishdagi farqlar tufayli yangi stresslarni qo'shadi. Nozik TIR ilovalari uchun isitgich ko'pincha alohida alyuminiy yadroga quyiladi, so'ngra oxirgi qoplamadan oldin stress-yana bo'shatiladi.
3. Yig‘ishdan so‘ng-termik stressni yo‘qotish
Isitish elementlari to'liq o'rnatilgandan yoki qisqich bilan o'rnatilgandan so'ng, butun plastinka yig'indisi yana bir stressni bartaraf etuvchi termal tsiklga- duchor bo'ladi. Bu juda muhim. Ushbu tsikl davomida elementlarning o'zidan issiqlik (mo'ljallangan xizmat ko'rsatish haroratidan yuqori haroratgacha quvvatlanadi) montajni sun'iy ravishda qaritadi va differentsial kuchlanishlarni yumshatadi. Bu jarayon ba'zan "termal tsikl" yoki "barqarorlashtirishdan oldingi-" deb ataladi.
4. Nozik silliqlash
Ishchi sirt katta{0}}formatli sirt silliqlash mashinasida yoki ikki-diskli maydalagichda maydalanadi. Silliqlash faqat oxirgi 0,2-0,5 mm materialni olib tashlaydi, 0,8 mkm yoki undan yuqori sirt qoplamasiga (Ra) erishadi va tekislik mashinaning imkoniyatlariga yaqinlashadi. Diametri 600 mm gacha bo'lgan plitalar uchun zamonaviy sirt silliqlash mashinasi TIRga erishishi mumkin<0.010 mm under controlled conditions.
5. Yakuniy takrorlash (ixtiyoriy)
0,010 mm dan qattiqroq TIR spetsifikatsiyalari uchun (masalan,<0.005 mm over 200 mm), lapping is required. Lapping uses a fine abrasive slurry between the plate and a precision flat lapping plate. The process is slow but can produce near-optical flatness. Lapped surfaces are typically specified for semiconductor hot chucks or optical bond platen.
Muhandislik chizmasida TIRni belgilash
Aniqlik talablariga javob beradigan isitish plitasini muvaffaqiyatli sotib olish uchun TIR spetsifikatsiyasi aniq va to'liq bo'lishi kerak. Oddiy chizma matni quyidagicha bo'lishi mumkin:
"Asme Y14.5M-1994 ga muvofiq o'lchanganida ishchi yuzaning umumiy ko'rsatilgan yugurishi (TIR) 0,020 mm dan oshmasligi kerak. O'lchov D diametri bilan aniqlangan butun ish yuzasi bo'ylab 100 daraja ± 5 daraja stabillashtirilgan plastinka bilan amalga oshirilishi kerak. 0,020 mm kvadrat maydondan ortiq har qanday mahalliy og'ish yo'q."
Asosiy elementlar:
TIR chegarasi.
O'lchov standarti (ASME Y14.5 yoki ISO 1101).
O'lchov olinadigan harorat (xona harorati, ish harorati yoki ikkalasi).
TIR qo'llaniladigan maydon (masalan, "butun ish yuzasi bo'ylab" yoki "plastinkaning markaziy 80% ichida").
Har qanday qo'shimcha "mahalliy tekislik" talabi (masalan, to'lqinlilikni nazorat qilish).
Hech qachon haroratni ko'rsatmasdan TIRni belgilamang.Xona haroratida tekis bo'lgan plastinka 150 daraja tekis bo'lmasligi mumkin. Muhim ilovalar uchun ishlab chiqaruvchidan atrof-muhit va ish haroratida tekislik xaritasini taqdim etishi kerak.
TIRni ilovaga moslashtirish
Kerakli TIR ishlov beriladigan qismning qalinligi bardoshliligi va muvofiqligiga asoslangan bo'lishi kerak.
Thick, rigid parts (e.g., metal sheets >3 mm)– 500 mm dan ortiq 0,05–0,10 mm TIR qabul qilinishi mumkin, chunki qism mos keladi yoki termal pasta bo'shliqlarni to'ldiradi.
Yupqa, moslashuvchan plyonkalar yoki gofretlar (<0.5 mm)- TIR bo'lishi kerak<0.025 mm. For semiconductor wafers processed on a vacuum chuck, TIR <0.010 mm is typical.
Optik aloqa (yopishtiruvchisiz)– TIR<0.005 mm (lapping required).
Qattiq substratlar bilan laminatsiyalash– TIR<0.020 mm over the laminate area to avoid voids.
Tekshirish usullari
The buyer or end user should verify TIR upon receipt. A simple method uses a dial test indicator mounted on a surface plate. The heating plate is placed on three precision height-adjustable supports set to a reference plane. The indicator is traversed in a grid pattern. For larger plates (>500 mm), koordinata o'lchash mashinasi (CMM) yoki lazer interferometri aniqroq ma'lumotlarni beradi.
Agar plastinka ish haroratida o'lchangan TIR bilan ko'rsatilgan bo'lsa, nazorat ostida isitish sinovini o'tkazish kerak. Plitalar xizmat ko'rsatish nuqtasiga quvvatlanadi, barqarorlashishiga ruxsat beriladi (odatda 30–60 minut), so'ngra TIR issiqlikka chidamli indikator yoki kontaktsiz lazerli siljish sensori yordamida-o'lchanadi. Ko'rsatkich stendining termal kengayishini tuzatish kerak.
TIRni belgilashda keng tarqalgan xatolar
Ortiqcha-belgilash- TIR so'rash<0.005 mm when the application only requires 0.05 mm adds unnecessary cost (lapping is expensive).
Haroratni unutish– O‘lchov haroratisiz belgilangan TIR noaniq. Ishlab chiqaruvchi xona{1}}haroratiga-xizmat ko‘rsatishda qabul qilinishi mumkin bo‘lmagan darajada egilgan tekis plastinkani taqdim qilishi mumkin.
O'rnatish teshiklariga e'tibor bermaslik– TIR spetsifikatsiyasida o‘lchov to‘g‘ridan-to‘g‘ri mahkamlagich teshiklari ustidagi maydonni o‘z ichiga oladimi yoki bu joylar bundan mustasnomi yoki yo‘qligini ko‘rsatishi kerak. Boltlar haddan tashqari siqilgan bo'lsa, murvat teshiklari sirtni mahalliy ravishda buzadi. Chizma o'rnatish uchun moment qiymatlarini ko'rsatishi kerak.
Mahalliy tekislik nazorati yo'q– Plita 0,025 mm global TIRga mos kelishi mumkin, ammo baribir 10 mm doira ustidagi keskin 0,020 mm tepalik-"to'lqinlilik" muammosi mavjud. "Har qanday 25 mm kvadrat ustidagi tekislik" uchun qo'shimcha belgilar bunga to'sqinlik qiladi.
TIRni mahkamlashning xarajat ta'siri
TIR spetsifikatsiyasi va ishlab chiqarish tannarxi o'rtasidagi bog'liqlik chiziqli emas-. TIR bilan plastinka<0.05 mm can be produced from stress-relieved plate stock using conventional milling and minimal grinding. At TIR <0.025 mm, dedicated grinding and stress-relieving cycles become mandatory. At TIR <0.010 mm, lapping and possibly multiple thermal stabilization cycles are required, doubling or tripling the cost.
Shuning uchun, plastinkani belgilovchi muhandis jarayon fizikasiga asoslangan minimal qabul qilinadigan TIRni belgilashi, so'ngra kamtarona xavfsizlik chegarasini qo'shishi kerak-lekin keraksiz darajada qattiq bardoshlik talab qilmasligi kerak.
Material tanlashning roli
Alyuminiy (6061 yoki 7075) yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va ishlov berish qulayligi tufayli eng keng tarqalgan isitish plitasi materialidir. Biroq, alyuminiy nisbatan yuqori termal kengayish koeffitsientiga (23 mkm / m · K) va past qattiqlikka ega. Katta alyuminiy plitalar (masalan, diametri 600 mm) to'g'ri qo'llab-quvvatlanmasa, o'z og'irligi ostida cho'kadi. Juda qattiq TIR talablari uchun po'lat (16 mkm/m·K) yoki alyuminiy{10}}kremniy karbid kompozitlaridan foydalanish mumkin, ammo ular og'irroq yoki qimmatroqdir.
Xulosa: Chizma ijro uchun shartnoma sifatida
Belgilashjami ko'rsatilgan yugurish isitish plitasining spetsifikatsiyasi aniqligiplastinaning bir xil aloqa va issiqlikni etkazib berish bo'yicha o'z ishini to'g'ri bajarishini va ishlab chiqarish jarayoni ushbu standartga javob berishi mumkinligini ta'minlaydi. Chizma bajarish uchun shartnoma bo'lib, aniq talablar aniq ko'rsatilishi kerak. TIR chegarasini, o'lchash haroratini, qo'llaniladigan maydonni va har qanday mahalliy tekislik cheklovlarini ko'rsatib, muhandis ishlab chiqaruvchiga aniq maqsadni beradi. Natijada optik linzalarni yopishtirish, yarimo‘tkazgichli plastinalarni qayta ishlash yoki egiluvchan sxemalarni laminatsiyalash kabi aniq ilovalarda oldindan aytish mumkin bo‘lgan -issiqlik plitasi hosil bo‘ladi. Bunday ishda tekislik hashamat emas; bu jarayonni faollashtiruvchi vositadir.
