Sxemaning murakkab naqshlari kremniy gofretga yopishtirilgandan so'ng, himoya fotorezist niqobi-qattiq, o'zaro{1}}bog'langan polimer qatlami-to'liq va toza tozalanishi kerak. Bu kuchli, agressiv organik erituvchilarning issiq hammomida amalga oshiriladi, ko'pincha yuz daraja Selsiy bo'yicha isitiladi. Ushbu uchuvchi, korroziy kimyo ichidagi suvga cho'mdiruvchi isitgich erituvchilar erimaydigan, shishib ketmaydigan yoki ifloslanmaydigan materialdan tayyorlanishi kerak. PTFE - bu kimyoviy jim, inert material.
Fotorezistni tozalashda PTFE isitgichlarining roli
Yalang'och vanna odatda N-metil-2-pirolidon (NMP), dimetil sulfoksid (DMSO) va 80-110 darajaga qadar isitiladigan kuchli ishqoriy aminlar kabi erituvchilar aralashmasidan iborat. PTFE suv isitgichi bu dastur uchun standart tanlovdir. Uning kimyoviy jihatdan inert qobig'i agressiv erituvchilarga to'liq chidamli bo'lib, aks holda standart plastmassalarga hujum qiladi va metallarni korroziyaga olib keladi.
PTFE isitgichi toza, barqaror va aniq issiqlikni metall ionlari yoki toza gofret yuzasida to'planishi mumkin bo'lgan boshqa ifloslantiruvchi moddalarni chiqarmasdan ta'minlaydi. Yopishmaydigan, silliq PTFE{1}} yuzasi erigan fotorezist qoldiqlarining to'planishiga qarshilik ko'rsatadi va takroriy tsikllar davomida mukammal toza isitish yuzasini saqlaydi. PTFE isitgich fotorezistli gofretni yechish jarayoni haroratning bir tekis taqsimlanishini ta'minlaydi va nozik gofretlarni bezovta qilishi mumkin bo'lgan mahalliy qaynatish yoki zarbani minimallashtiradi.
"PTFE isitgichi kuchli erituvchilar vannasidagi kimyoviy jim, issiq barmoq bo'lib, niqobni o'zidan hech qanday iz qoldirmasdan olib tashlaydi va gofretni toza va elektr jihatdan benuqson saqlaydi."
Xavfsizlik masalalari
Erituvchi aralashmasi yonuvchan, zaharli va tez-tez qaynash nuqtasiga yaqin ishlaydi. Yong'in, bug 'ta'siri yoki elektrostatik xavflarning oldini olish uchun muhrlangan korpuslar, topraklama va ventilyatsiyani o'z ichiga olgan to'g'ri tank dizayni majburiydir. Konservativ vatt zichligi nazorat ostida isitishni ta'minlash va PTFE qobig'ida erituvchining zarbasi yoki mahalliy qizib ketishining oldini olish uchun talab qilinadi.
Operatsion imtiyozlar
Ushbu jarayonda PTFE isitgichlaridan foydalanish quyidagilarga imkon beradi:
Agressiv erituvchi aralashmalarga kimyoviy immunitet.
Gofretning mutlaq tozaligi va elektr yaxlitligini saqlash.
Korroziya va degradatsiyasiz uzoq-muddatli ishonchlilik.
Yuqori rentabellikga ega yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun-qoldiqsiz isitish juda muhim.
Xulosa
PTFE cho'milish isitgichi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda gofretlardan fotorezistni toza, to'liq tozalash imkonini beruvchi muhim, kimyoviy immunitetga ega issiqlik manbai. Yuqori agressiv erituvchi vannada barqaror, ifloslantiruvchi{1}}issiqlikni ta'minlab, PTFE isitgich zamonaviy mikroelektronika uchun zarur bo'lgan atomik tozalikni ta'minlaydi. Kompyuter chipining mukammal, benuqson yuzasiga kimyoviy tajovuzkorlik va inert, ishonchli isitish kombinatsiyasi orqali erishiladi.
