Yarimo'tkazgichli havo isitgichlarida karbonizatsiya xavfi
200 daraja isitiladigan havo yarimo'tkazgichli gofretni quritish va tozalash vositalarida ishlatiladi. Ushbu xizmatdagi PFA isitgichlari sirtdagi organik ifloslantiruvchi moddalar toj oqimi ostida pirolizga uchraganda, karbonlashtirilgan o'tkazuvchan yo'llarni ishlab chiqishi mumkin. 11 ta yarimo'tkazgich fabrikasining miqdoriy tahlili shuni ko'rsatadiki, 0,1 µg/sm² gacha bo'lgan iz organik ifloslanish PFA grafitizatsiyasi uchun faollashtirish energiyasini 250 kJ/mol dan 180 kJ/molgacha kamaytiradi va karbonizatsiya xavfini 10 baravar oshiradi. Toza PFA sirtlari 300 daraja haroratda ham grafitizatsiyaga qarshi turadi.
Grafitizatsiya mexanizmi va faollashtirish energiyasi
PFA 360 darajadan yuqori darajada parchalanadi, lekin tojni tushirish (qisman elektr zaryadsizlanishi) pastroq haroratlarda (200-250 daraja) C-F aloqalarini uzib, uglerodga-boy qoldiqlarni hosil qilishi mumkin. Organik ifloslantiruvchi moddalar (uglevodorodlar, fotorezist qoldiqlari, moylash materiallari) mavjud bo'lganda, piroliz past haroratlarda sodir bo'lib, o'tkazuvchan grafitga o'xshash yo'llarni hosil qiladi. Grafitizatsiya uchun faollashtirish energiyasi (Ea) ifloslantiruvchi yuk ortishi bilan kamayadi:
| Yuzaki ifloslanish darajasi (µg/sm²)|Grafitizatsiya uchun faollashtirish energiyasi (kJ/mol)|Korona bilan 1000 soat ichida 10% karbonizatsiya uchun harorat|Oqish oqimi 230V, 200 daraja (µA) |
| --- | --- | --- | --- | --- |
| <0.01 (clean room handled) | 250 | >280 daraja |<0.1 |
| 0,01-0,1 (standart toza)|220|260 daraja|0,5 |
| 0,1-1,0 (odatiy fab)|180|230 daraja|5 |
| 1.0-10 (yomon ishlov berish)|150|210 daraja|50 |
| >10 (yalpi ifloslanish)|120|190 daraja|500+ |
Havo isitgichlarida korona tushirish shartlari
Korona zaryadsizlanishi yuqori elektr ta'siri ostida o'tkir nuqtalarda yoki nuqsonlarda sodir bo'ladi. 230V isitgichlar uchun korona boshlang'ich kuchlanishi 400-600V ni tashkil qiladi. Biroq, 200 daraja va atmosfera bosimidagi havoda, agar sirt ifloslanishi ionlanish chegarasini pasaytirsa, toj pastroq kuchlanishlarda paydo bo'lishi mumkin. Organik ifloslantiruvchi moddalar toj ostida parchalanib, uglerodni to'playdi, bu esa chiqindilarni yanada kuchaytiradi. Ushbu ijobiy fikr bir necha soat ichida tez karbonizatsiyaga olib kelishi mumkin.
Kontaminatsiya manbalari va ularni yumshatish
| Kontaminatsiya manbai | Oddiy yuklash (µg/sm²) | Ea kamaytirish | Yumshatish |
|---|---|---|---|
| Barmoq izlari | 1-10 | Og'ir | Qo'lqop bilan ishlov berish, erituvchi bilan artish |
| Fotorezist bug ' | 0.1-1 | O'rtacha | Mahalliy egzoz, isitgichni gofretlardan yuqoriga joylashtirish |
| Yog 'bug'ini pompalang | 0.1-0.5 | O'rtacha | Yog'siz{0}}vakuum nasoslari, filtrlar |
| Qadoqlash qoldiqlari | 0.05-0.2 | Yengil | Xona qadoqlarini tozalang, ishlatishdan oldin-pishirib oling |
| Havodagi uglevodorodlar | 0.01-0.05 | Minimal | HEPA/ULPA filtrlash, faollashtirilgan uglerod filtrlari |
Devor qalinligi va karbonizatsiyaning tarqalishi
Karbonizatsiya boshlangandan so'ng, o'tkazuvchan yo'l PFA devori orqali tarqalishi mumkin. Qalinroq devorlar metall yadroga etib borishdan oldin uglerod yo'lining o'sishi uchun ko'proq masofani ta'minlaydi:
| Devor qalinligi | 1 µg/sm² kontaminatsiya bilan-200 gradusda devor uglerod yo‘lini boshlashdan to o‘tishgacha bo‘lgan vaqt | Xavfsizlik omili va. 1.5mm |
|---|---|---|
| 1,5 mm | 100 soat | 1.0x |
| 2,0 mm | 250 soat | 2.5x |
| 2,5 mm | 500 soat | 5.0x |
| 3,0 mm | 900 soat | 9.0x |
Yuzaki tozalash va passivatsiya
Solventli tozalash (izopropanol, aseton) organik ifloslantiruvchi moddalarni olib tashlaydi, ammo qoldiqlarni qoldirishi mumkin. Plazmani tozalash (kislorod, 100 Vt, 5 min) barcha organik moddalarni oksidlaydi, natijaga erishadi.<0.01 µg/cm² residual carbon. UV-ozone cleaning is also effective for PFA. For critical semiconductor dryers, specify plasma-cleaned PFA heaters with certification of surface contamination below 0.02 µg/cm² by contact angle measurement (high contact angle indicates cleanliness).
Yarimo'tkazgichli havo isitgichlari uchun texnik ko'rsatmalar
Yarimo'tkazgichli quritgichlarda 200 daraja isitiladigan havo uchun jo'natishdan va toza xona qoplariga-o'rashdan oldin plazma tozalangan PFA isitgichlarini belgilang. 0,02 µg/sm² dan past sirt ifloslanishini erituvchi ekstraktsiyasi va GC-MS orqali sertifikatlashni talab qiling. Devor qalinligi uchun eng yaxshi tozalash usullariga qaramasdan tarqalish qarshiligini ta'minlash uchun kamida 2,5 mm belgilang. Fotorezistli bug'larga ta'sir qiladigan isitgichlar uchun mahalliy egzoz qo'shing va isitgichlarni gofretni qayta ishlash zonalarining yuqori qismiga joylashtiring. Kotirovkalarni so'raganda, isitgichlar iz organik nazorati bilan toza quruq havo xizmati uchun ekanligini ko'rsating. Plazma tozalash va xonani toza qadoqlash-(standartdan 10-15% ga oshirilgan) uchun yuqori narx yarimoʻtkazgichli metrologiyaning sezgir uskunasiga zarar yetkazishi mumkin boʻlgan karbonizatsiya bilan bogʻliq qochqin oqimini bartaraf etish bilan oqlanadi. Tuproqning tushunarsiz yoriqlari bo'lgan mavjud tizimlar uchun ifloslanish manbasini aniqlash uchun olib tashlangan isitgichlarda sirt organik tahlilini o'tkazing.
